Heat-Mode Type Photolithography with TeOx-based Film

• 資料種別: 記事
• タイトル: Heat-Mode Type Photolithography with TeOx-based Film
• 著者・編者: 伊藤 英一; 留河 優子; 富山 盛央 他
• 著者標目: 伊藤 英一; 留河 優子; 富山 盛央
• 並列タイトル等: TeOxベース材料を用いた熱記録フォトリソグラフィー技術
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 104(701) 2005.3.4
• 掲載巻: 104
• 掲載号: 701
• 掲載ページ: 25～29
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2005-03-04
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: マスタリング; フォトレジスト; ヒートモード; Blu-ray Disc; BD; ROM; mastering; photoresist; thermal-mode
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: MR2004-66
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 7360240; http://id.ndl.go.jp/bib/7360240
• 整理区分コード: 632