表面活性化常温接合を...

表面活性化常温接合を用いたMEMS低応力実装法 (特集 生産技術)

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表面活性化常温接合を用いたMEMS低応力実装法

(特集 生産技術)

国立国会図書館請求記号
Z16-727
国立国会図書館書誌ID
7376623
資料種別
記事
著者
佐名川 佳治ほか
出版者
門真 : 松下電工R&D企画室
出版年
2005-05
資料形態
掲載誌名
松下電工技報 53(2) 2005.5
掲載ページ
p.12~17
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
佐名川 佳治
植田 充彦
吉岡 伸宏 他
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
松下電工技報
巻号年月日等(掲載誌)
53(2) 2005.5
掲載巻
53
掲載号
2
掲載ページ
12~17