特別招待論文 サブ45nm時代に向けて、SOI基板技術の現状と展望

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特別招待論文 サブ45nm時代に向けて、SOI基板技術の現状と展望

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
7431778
資料種別
記事
著者
吉見 信
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2005-08-18
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105(234) 2005.8.18
掲載ページ
p.25~30
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
吉見 信
著者標目
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
105(234) 2005.8.18
掲載巻
105
掲載号
234
掲載ページ
25~30
掲載年月日(W3CDTF)
2005-08-18