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雑誌
電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
巻号
105(303)-105(313) 20050900-20050900
記事
インバースモデルシス...
インバースモデルシステムの開発と二次元プロファイル抽出 (特集:プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
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インバースモデルシステムの開発と二次元プロファイル抽出
(特集:プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
7482717
資料種別
記事
著者
小松原 弘毅ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2005-09-27
資料形態
紙
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105(308) 2005.9.27
掲載ページ
p.7~12
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書誌情報
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書誌情報を出力
紙
資料種別
記事
タイトル
インバースモデルシステムの開発と二次元プロファイル抽出
著者・編者
小松原 弘毅
筒井 将史
和田 哲典
シリーズタイトル
特集:プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般
著者標目
小松原 弘毅
筒井 将史
和田 哲典
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
105(308) 2005.9.27
掲載巻
105
掲載号
308
掲載ページ
7~12
掲載年月日(W3CDTF)
2005-09-27
ISSN(掲載誌)
0913-5685
ISSN-L(掲載誌)
0913-5685
出版事項(掲載誌)
東京 : 電子情報通信学会
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
件名標目
インバースモデル
不純物プロファイル抽出
最適化
イオン抽出
パラメータ抽出
Inverse model
Impurity profile extraction
Optimize
Ion implantation
Parameter extraction
NDLC
ZN33
対象利用者
一般
レポート番号(雑誌記事)
VLD2005-43
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Z16-940
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
7482717
http://id.ndl.go.jp/bib/7482717
整理区分コード
632
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