MMTプラズマによる...

MMTプラズマによる極薄膜ゲート酸窒化膜の形成

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MMTプラズマによる極薄膜ゲート酸窒化膜の形成

国立国会図書館請求記号
Z74-C327
国立国会図書館書誌ID
7756964
資料種別
記事
著者
小川 雲龍ほか
出版者
羽村 : 日立国際電気
出版年
2004
資料形態
掲載誌名
日立国際電気技報 / 企画部研究管理課 編 (5) 2004年度版
掲載ページ
p.4~9
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
小川 雲龍
寺崎 正
中山 雅則 他
タイトル(掲載誌)
日立国際電気技報 / 企画部研究管理課 編
巻号年月日等(掲載誌)
(5) 2004年度版
掲載号
5
掲載ページ
4~9
掲載年月日(W3CDTF)
2004
ISSN(掲載誌)
1346-5953