キャラクタプロジェクション法における描画面積の最適化による描画時間の削減

• 資料種別: 記事
• タイトル: キャラクタプロジェクション法における描画面積の最適化による描画時間の削減
• 著者・編者: 杉原 真; 高田 大河; 中村 健太 他
• シリーズタイトル: 組込技術とネットワークに関するワークショップETNET2006
• 著者標目: 杉原 真; 高田 大河; 中村 健太
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 105(672) 2006.3.17
• 掲載巻: 105
• 掲載号: 672
• 掲載ページ: 13～18
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2006-03-17
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: キャラクタプロジェクション; 電子ビーム直描; フォトマスク開発; スループット; 可変整形ビーム; character projection; maskless lithography; photomask development; throughput; variable shaped beam
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: DC2005-99
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 7880374; http://id.ndl.go.jp/bib/7880374
• 整理区分コード: 632