誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により作製したニッケル薄膜の基板バイアス電圧依存性 (第46回真空に関する連合講演会プロシーディングス--2005年11月9日～11日,東京)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 竹迫 寿晃岡山 勇太川畑 敬志
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 49(3) 2006.3
- 掲載巻
- 49
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 156～158