顕微鏡観察視野外を含む接触圧と接触点維持制御機能を有する半導体デバイス評価用プロービングシステムの開発

• 資料種別: 記事
• タイトル: 顕微鏡観察視野外を含む接触圧と接触点維持制御機能を有する半導体デバイス評価用プロービングシステムの開発
• 著者・編者: 石川 友彦; 江田 弘; 周 立波 他
• 著者標目: 石川 友彦; 江田 弘; 周 立波
• タイトル（掲載誌）: Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
• 巻号年月日等（掲載誌）: 50(6) (通号 286) 2006.6
• 掲載巻: 50
• 掲載号: 6
• 掲載通号: 286
• 掲載ページ: 318～323
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2006-06
• ISSN（掲載誌）: 0914-2703
• ISSN-L（掲載誌）: 0914-2703
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 砥粒加工学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: probing system; force feedback; contact position control; micro-manipulator; PZT actuator; scanning electron microscope; SEM
• NDLC: ZN11
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-1147
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 7939547; http://id.ndl.go.jp/bib/7939547
• 整理区分コード: 632