レイアウトに依存した電解メッキによる銅膜生成モデル

• 資料種別: 記事
• タイトル: レイアウトに依存した電解メッキによる銅膜生成モデル
• 著者・編者: 福田 大輔; 松岡 英俊; 澁谷 利行
• 著者標目: 福田 大輔; 松岡 英俊; 澁谷 利行
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 106(113) 2006.6.22
• 掲載巻: 106
• 掲載号: 113
• 掲載ページ: 7～12
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2006-06-22
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: CMP; DFM; ECP
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: VLD2006-15
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 7975728; http://id.ndl.go.jp/bib/7975728
• 整理区分コード: 632