磁気支持型駆動装置による高速微細放電加工モジュールの開発--高速高精度位置決め制御系の設計と加工実験による検証
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 中川 孝幸三宅 英孝今井 祥人 他
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 72(6) (通号 858) 2006.6
- 掲載巻
- 72
- 掲載号
- 6
- 掲載通号
- 858
- 掲載ページ
- 730～734