X線を用いた微細加工技術「LIGAプロセス」 (特集第17回放射線夏の学校)

X線を用いた微細加工技術「LIGAプロセス」

(特集第17回放射線夏の学校)

国立国会図書館請求記号: Z15-432
国立国会図書館書誌ID: 8010191

資料種別: 記事

著者: 平田嘉裕

出版者: [東京] : 応用物理学会放射線分科会

出版年: 2006-04

資料形態: 紙

掲載誌名: 放射線 = Ionizing radiation 32(2) 2006.4

掲載ページ: p.104～110

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紙

資料種別: 記事
タイトル: X線を用いた微細加工技術「LIGAプロセス」
著者・編者: 平田嘉裕
シリーズタイトル: 特集第17回放射線夏の学校
著者標目: 平田嘉裕
タイトル（掲載誌）: 放射線 = Ionizing radiation
巻号年月日等（掲載誌）: 32(2) 2006.4
掲載巻: 32
掲載号: 2
掲載ページ: 104～110
掲載年月日（W3CDTF）: 2006-04
ISSN（掲載誌）: 0285-3604
ISSN-L（掲載誌）: 0285-3604
出版事項（掲載誌）: [東京] : 応用物理学会放射線分科会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-432
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 8010191
http://id.ndl.go.jp/bib/8010191
整理区分コード: 632

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