Ultrahigh-quality Silicon Carbide Single Crystals (Special Issue: Processing Design of Single Crystals and Textured Polycrystals for Advanced Electronic Devices)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 中村 大輔郡司島 造山口 聡 他
- 並列タイトル等
- 超高品質炭化珪素単結晶
- タイトル(掲載誌)
- 豊田中央研究所R&Dレビュー = R&D review of Toyota CRDL / R&Dレビュー編集委員会 編
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 41(2) 2006.6
- 掲載巻
- 41
- 掲載号
- 2