スパッタビーム堆積法によるZnO薄膜の作製及び検討

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スパッタビーム堆積法によるZnO薄膜の作製及び検討

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
8048839
資料種別
記事
著者
野口 亨ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2006-08
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106(203) 2006.8.7・8
掲載ページ
p.15~20
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
野口 亨
川上 歩
東出 陽幸 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
106(203) 2006.8.7・8
掲載巻
106
掲載号
203
掲載ページ
15~20
掲載年月日(W3CDTF)
2006-08