真空中における精密表面処理電極の絶縁破壊コンディショニング特性 (特集:真空放電の制御と応用)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 加藤 克巳福岡 裕志稲川 諭季彦 他
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 126(8) 2006.8
- 掲載巻
- 126
- 掲載号
- 8
- 掲載ページ
- 763～768