正・負高電圧パルス型プラズマ利用イオン注入法で作製したSi含有DLC膜(1)Si含有量と耐熱性及び摩擦摩耗特性
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 池山 雅美Junho Choi中尾 節男 他
- タイトル（掲載誌）
- 粉体および粉末冶金 = Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy : 粉体粉末冶金協会誌 / 粉体粉末冶金協会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 53(8) 2006.8
- 掲載巻
- 53
- 掲載号
- 8
- 掲載ページ
- 635～640
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2006-08