表面波プラズマ装置と新直流バイアス印加法を用いた薄膜ナノクリスタルダイヤモンド低気圧合成(小特集/最近の話題を追って(2))

• 資料種別: 記事
• タイトル: 表面波プラズマ装置と新直流バイアス印加法を用いた薄膜ナノクリスタルダイヤモンド低気圧合成
• 著者・編者: 桂井 誠; 金 載浩
• シリーズタイトル: 小特集/最近の話題を追って(2)
• 著者標目: 桂井 誠; 金 載浩
• タイトル（掲載誌）: 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
• 巻号年月日等（掲載誌）: 57(9) 2006.9
• 掲載巻: 57
• 掲載号: 9
• 掲載ページ: 636～642
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2006-09
• ISSN（掲載誌）: 0915-1869
• ISSN-L（掲載誌）: 0915-1869
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 表面技術協会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: Surface Wave Plasma; Nanocrystalline Diamond Film; Plasma CVD; DC Bias; Microwave Discharge
• NDLC: ZP41
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-291
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 8093726; http://id.ndl.go.jp/bib/8093726
• 整理区分コード: 632