Distributed Ferromagnetic Inductively Coupled Plasma as an Alternative Plasma Processing Tool (Special Issue: Plasma Processing)

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Distributed Ferromagnetic Inductively Coupled Plasma as an Alternative Plasma Processing Tool(Special Issue: Plasma Processing)

国立国会図書館請求記号: Z53-A375
国立国会図書館書誌ID: 8519866

資料種別: 記事

著者: Valery Godyakほか

出版者: Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics

出版年: 2006-10

資料形態: デジタル

掲載誌名: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 45(10B) (通号 642) (Special Issue) 2006.10

掲載ページ: p.8035～8041

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: Distributed Ferromagnetic Inductively Coupled Plasma as an Alternative Plasma Processing Tool
著者・編者: Valery Godyak
Chin-Wook Chung
シリーズタイトル: Special Issue: Plasma Processing
著者標目: Valery Godyak
Chin-Wook Chung
タイトル（掲載誌）: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号年月日等（掲載誌）: 45(10B) (通号 642) (Special Issue) 2006.10
掲載巻: 45
掲載号: 10B
掲載通号: 642
その他巻次: Special Issue
掲載ページ: 8035～8041
掲載年月日（W3CDTF）: 2006-10
ISSN（掲載誌）: 0021-4922
ISSN-L（掲載誌）: 0021-4922
出版事項（掲載誌）: Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
件名標目: plasma source
plasma uniformity
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象
遠隔複写可否（NDL）: 可
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z53-A375
掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11226712
https://dl.ndl.go.jp/pid/11226712
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 8519866
http://id.ndl.go.jp/bib/8519866
整理区分コード: 632