Distributed Ferromagnetic Inductively Coupled Plasma as an Alternative Plasma Processing Tool (Special Issue: Plasma Processing)

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Distributed Ferromagnetic Inductively Coupled Plasma as an Alternative Plasma Processing Tool(Special Issue: Plasma Processing)

国立国会図書館請求記号
Z53-A375
国立国会図書館書誌ID
8519866
資料種別
記事
著者
Valery Godyakほか
出版者
Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics
出版年
2006-10
資料形態
デジタル
掲載誌名
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 45(10B) (通号 642) (Special Issue) 2006.10
掲載ページ
p.8035~8041
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Valery Godyak
Chin-Wook Chung
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号年月日等(掲載誌)
45(10B) (通号 642) (Special Issue) 2006.10
掲載巻
45
掲載号
10B
掲載通号
642