最近の研究 炭酸ガスを用いたプラズマCVD--シリコン酸・窒化膜への応用

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最近の研究 炭酸ガスを用いたプラズマCVD--シリコン酸・窒化膜への応用

国立国会図書館請求記号
Z17-313
国立国会図書館書誌ID
8591281
資料種別
記事
著者
熊野 勝文ほか
出版者
仙台 : 日本金属学会 ; 1994-
出版年
2006-11
資料形態
掲載誌名
まてりあ = Materia Japan 45(11) 2006.11
掲載ページ
p.797~802
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
熊野 勝文
羽賀 浩一
タイトル(掲載誌)
まてりあ = Materia Japan
巻号年月日等(掲載誌)
45(11) 2006.11
掲載巻
45
掲載号
11
掲載ページ
797~802
掲載年月日(W3CDTF)
2006-11