MCFを用いた3次元ナノレベル研磨

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MCFを用いた3次元ナノレベル研磨

国立国会図書館請求記号
Z15-398
国立国会図書館書誌ID
8623008
資料種別
記事
著者
松尾 良夫ほか
出版者
東京 : 日本磁気学会
出版年
2007
資料形態
デジタル
掲載誌名
日本応用磁気学会誌 31(1) (通号 223) 2007
掲載ページ
p.12~16
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資料詳細

要約等:

This describes the presents development of a polishing technique for creating a nanometer-level mirror plane on the surface of planar-shaped and irreg...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
松尾 良夫
山本 慶太
中村 輝久 他
タイトル(掲載誌)
日本応用磁気学会誌
巻号年月日等(掲載誌)
31(1) (通号 223) 2007
掲載巻
31
掲載号
1
掲載通号
223
掲載ページ
12~16