インダストリアルマテリアルプラズマCVDプロセスにおける多目的最適化

掲載誌名: 応用数理 = Bulletin of the Japan Society for Industrial and Applied Mathematics / 日本応用数理学会編 16(4) 2006.12

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資料種別: 記事
タイトル: インダストリアルマテリアルプラズマCVDプロセスにおける多目的最適化
著者・編者: 横野泰之
宇井明生
市川尚志他
著者標目: 横野泰之
宇井明生
市川尚志
タイトル（掲載誌）: 応用数理 = Bulletin of the Japan Society for Industrial and Applied Mathematics / 日本応用数理学会編
巻号年月日等（掲載誌）: 16(4) 2006.12
掲載巻: 16
掲載号: 4
掲載ページ: 319～324
掲載年月日（W3CDTF）: 2006-12
ISSN（掲載誌）: 0917-2270
ISSN-L（掲載誌）: 0917-2270
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本応用数理学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM31
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-726
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 8627726
http://id.ndl.go.jp/bib/8627726
整理区分コード: 632