アーキングに対するスパッタターゲット中の微小酸化物の影響(酸化物依存性とアーキングのモデル化)

国立国会図書館請求記号: Z17-246
国立国会図書館書誌ID: 8632888

資料種別: 記事

著者: 川畑貴裕ほか

出版者: 周南 : 東ソー

出版年: 2006

資料形態: デジタル

掲載誌名: 東ソー研究・技術報告 = Tosoh research & technology review / 東ソー株式会社東ソー研究・技術報告編集委員会編 50 (通号 87) 2006

掲載ページ: p.15～22

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: アーキングに対するスパッタターゲット中の微小酸化物の影響(酸化物依存性とアーキングのモデル化)
著者・編者: 川畑貴裕
稲生俊雄
著者標目: 川畑貴裕
稲生俊雄
タイトル（掲載誌）: 東ソー研究・技術報告 = Tosoh research & technology review / 東ソー株式会社東ソー研究・技術報告編集委員会編
巻号年月日等（掲載誌）: 50 (通号 87) 2006
掲載巻: 50
掲載通号: 87
掲載ページ: 15～22
掲載年月日（W3CDTF）: 2006
ISSN（掲載誌）: 1346-3039
ISSN-L（掲載誌）: 1346-3039
出版事項（掲載誌）: 周南 : 東ソー
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZP8
対象利用者: 一般
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
遠隔複写可否（NDL）: 可
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z17-246
関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/8714107
関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8714107
http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/8714107
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 8632888
http://id.ndl.go.jp/bib/8632888
整理区分コード: 632