Multilayered Surface Shape Measurement by Synthesis of Optical Coherence Function with Continuous Frequency Modulation

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Multilayered Surface Shape Measurement by Synthesis of Optical Coherence Function with Continuous Frequency Modulation

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
8678776
資料種別
記事
著者
欧陽 慧ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2007-02-16
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106(532) 2007.2.16
掲載ページ
p.23~28
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
欧陽 慧
何 祖源
宋 光容 他
並列タイトル等
連続周波数変調による光コヒーレンス関数合成法を用いた多層表面形状測定法
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
106(532) 2007.2.16
掲載巻
106
掲載号
532
掲載ページ
23~28