Comparison of Co films deposited by remote plasma atomic layer deposition method with cyclopentadienylcobalt dicarbonyl 〔CpCo(CO)2〕 and dicobalt octacarbonyl 〔Co2(CO)8〕

掲載誌名: Japanese journal of applied physics. Part 2, Letters & express letters 46(8-11) (通号 451) 2007.3

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資料種別: 記事
タイトル: Comparison of Co films deposited by remote plasma atomic layer deposition method with cyclopentadienylcobalt dicarbonyl 〔CpCo(CO)2〕 and dicobalt octacarbonyl 〔Co2(CO)8〕
著者・編者: Keunjun Kim
Keunwoo Lee
Sejin Han 他
著者標目: Keunjun Kim
Keunwoo Lee
Sejin Han
タイトル（掲載誌）: Japanese journal of applied physics. Part 2, Letters & express letters
巻号年月日等（掲載誌）: 46(8-11) (通号 451) 2007.3
掲載巻: 46
掲載号: 8-11
掲載通号: 451
掲載ページ: L173～176
掲載年月日（W3CDTF）: 2007-03
ISSN（掲載誌）: 0021-4922
ISSN-L（掲載誌）: 0021-4922
出版事項（掲載誌）: Tokyo : Japan Society of Applied Physics
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
件名標目: remote plasma ALD
cobalt
CpCo(CO)2
Co2(CO)8
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z54-J337
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 8695294
http://id.ndl.go.jp/bib/8695294
整理区分コード: 632