スパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成 (電子部品・材料)

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スパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成

(電子部品・材料)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
8762776
資料種別
記事
著者
以西 雅章ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2007-05
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107(55) 2007.5.24・25
掲載ページ
p.93~96
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
以西 雅章
中村 功一
長南 祐史 他
シリーズタイトル
並列タイトル等
Preparation of LiMn2O4 films by sputtering method
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
107(55) 2007.5.24・25
掲載巻
107
掲載号
55