スパッタリング法によるTiO2およびTiN薄膜結晶成長
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 伊藤 早紀篁 耕司吉本 健一
- 並列タイトル等
- Crystalline growth of titanium dioxide and titanium nitride films by sputtering method
- タイトル（掲載誌）
- 旭川工業高等専門学校研究報文 = Journal of the Asahikawa National College of Technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (44) 2007.3
- 掲載号
- 44
- 掲載ページ
- 27～32
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2007-03