低コヒーレンス位相シ...

低コヒーレンス位相シフト干渉法を用いたナノ潤滑膜の三次元画像計測

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低コヒーレンス位相シフト干渉法を用いたナノ潤滑膜の三次元画像計測

国立国会図書館請求記号
Z16-1056
国立国会図書館書誌ID
8872001
資料種別
記事
著者
張 賀東ほか
出版者
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
出版年
2007-06
資料形態
掲載誌名
日本機械学会論文集. C編 73(730) 2007.6
掲載ページ
p.1862~1868
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
張 賀東
三矢 保永
坂野 貴裕 他
並列タイトル等
Three-dimensional measurements of nanometer-thick lubricant films using low-coherence phase-shifting interferometry
タイトル(掲載誌)
日本機械学会論文集. C編
巻号年月日等(掲載誌)
73(730) 2007.6
掲載巻
73
掲載号
730
掲載ページ
1862~1868