誘導結合型高周波放電の電界分布に関する理論的研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 長濱 治男
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Theoretical studies on the r. f. field distribution of the inductively coupled radio frequency discharge
- タイトル（掲載誌）
- 福井工業大学研究紀要 / 福井工業大学 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (37) (第1部) 2007
- 掲載号
- 37
- その他巻次
- 第1部
- 掲載ページ
- 1～8