超低エネルギー電子線...

超低エネルギー電子線を用いた炭素系薄膜の構造改質とパターン構造化 (特集 量子ビームの新地平)

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超低エネルギー電子線を用いた炭素系薄膜の構造改質とパターン構造化

(特集 量子ビームの新地平)

国立国会図書館請求記号
Z17-66
国立国会図書館書誌ID
8920052
資料種別
記事
著者
岩村 栄治
出版者
大阪 : 大阪工研協会
出版年
2007-08
資料形態
掲載誌名
科学と工業 = Science and industry / 科学と工業編集委員会 編 81(8) 2007.8
掲載ページ
p.378~386
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
岩村 栄治
シリーズタイトル
著者標目
並列タイトル等
Structural modification and fabrication of patterned domains in carbon thin films by ultra-low-energy electron beam
タイトル(掲載誌)
科学と工業 = Science and industry / 科学と工業編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
81(8) 2007.8
掲載巻
81
掲載号
8