X線反射率法を用いた...

X線反射率法を用いたSIトレーサブルな膜厚評価--試料表面形状評価による不確かさ低減効果

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X線反射率法を用いたSIトレーサブルな膜厚評価--試料表面形状評価による不確かさ低減効果

国立国会図書館請求記号
Z15-379
国立国会図書館書誌ID
8941834
資料種別
記事
著者
藤本 俊幸ほか
出版者
東京 : 日本表面科学会
出版年
2007-09
資料形態
掲載誌名
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 28(9) 2007.9
掲載ページ
p.494~499
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
藤本 俊幸
山岸 秀一
東 康史
並列タイトル等
X-ray reflectometry with SI traceability for thickness evaluation: reduction of uncertainty caused by surface flatness of specimens
タイトル(掲載誌)
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
28(9) 2007.9
掲載巻
28
掲載号
9
掲載ページ
494~499