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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 永山 勝也木村 景一森下 浩文 他
- 並列タイトル等
- A computational study on slurry flow between a wafer and pad in CMP: cases without groove, with circular grooves and radial grooves
- タイトル（掲載誌）
- 日本機械学会論文集. B編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 73(733) 2007.9
- 掲載巻
- 73
- 掲載号
- 733
- 掲載ページ
- 1806～1812