可変面積型超LSI用電子ビーム露光装置について--理化学研究所・情報科学研究室における研究開発の一例

• 資料種別: 記事
• タイトル: 可変面積型超LSI用電子ビーム露光装置について--理化学研究所・情報科学研究室における研究開発の一例
• 著者・編者: 小山 俊士
• 著者標目: 小山 俊士
• 並列タイトル等: Variable shaped electron beam lithography for fabrication of very large-scale integrated circuits: an example of research and development in the Information Science Laboratory, the Institute of Physical and Chemical Research
• タイトル（掲載誌）: 科学史研究. [第Ⅱ期] = Journal of history of science, Japan. [Series Ⅱ] / 日本科学史学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 46(243) 2007.秋
• 掲載巻: 46
• 掲載号: 243
• 掲載ページ: 155～166
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2007
• ISSN（掲載誌）: 0022-7692
• ISSN-L（掲載誌）: 0022-7692
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本科学史学会 ; [1962]-2013
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 理化学研究所; 情報科学研究室; 後藤英一; 電子ビーム露光装置; 超LSI
• NDLC: ZM2
• 対象利用者: 一般
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z14-82
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/11684009; https://dl.ndl.go.jp/pid/11684009
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 8973333; http://id.ndl.go.jp/bib/8973333
• 整理区分コード: 632

• 要約等: This article outlines research and development using the electron beam lithography system conducted by Eiichi Goto and his colleagues at the Informati...