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小特集 マイクロ/ナ...

小特集 マイクロ/ナノイオンビームの生成と応用--イオン工学最前線(4)

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小特集 マイクロ/ナノイオンビームの生成と応用--イオン工学最前線(4)

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
8976124
資料種別
記事
著者
-
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
2007-09
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 50(9) 2007.9
掲載ページ
p.555~578
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書誌情報

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資料種別
記事
並列タイトル等
Special issue: Generation and applications of micro/nano ion beams
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
50(9) 2007.9
掲載巻
50
掲載号
9
掲載ページ
555~578
掲載年月日(W3CDTF)
2007-09
ISSN(掲載誌)
0559-8516