集束イオンビームを用いた電子光学系輪帯瞳用アパーチャの作製
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 藤原 誠田中 武雄志水 一平 他
- 並列タイトル等
- Development of micro-aperture for annular pupil on electron optics by focused ion beam technique
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 50(10) 2007.10
- 掲載巻
- 50
- 掲載号
- 10
- 掲載ページ
- 639～643