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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 小林 芳彦万行 大貴小野 宏之 他
- 並列タイトル等
- Effects of moisture impurities in NH3 gas on nitride-semiconductor films grown by metal organic vapor phase epitaxy: establishment of on-site analysis technology and usefulness of NH3 gas purification system
- タイトル(掲載誌)
- 大陽日酸技報
- 巻号年月日等(掲載誌)
- (26) 2007
- 掲載号
- 26
- 掲載ページ
- 1~6
- 掲載年月日(W3CDTF)
- 2007