PZT圧電薄膜を用いた補償光学用MEMS可変ミラー (特集 強誘電体のセンサ・マイクロマシン応用)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 神野 伊策國澤 孝瑛鈴木 孝明 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- MEMS deformable mirrors for adaptive optics actuated by piezoelectric PZT films
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 127(12) 2007.12
- 掲載巻
- 127
- 掲載号
- 12