雑誌ケミカルエンジニヤリング
巻号53(1)-53(6)=636-641:2008.1-2008.6
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次世代微細回路形成へのナノテクノロジーの展開 (特集 次世代技術開発の新展開)

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次世代微細回路形成へのナノテクノロジーの展開

(特集 次世代技術開発の新展開)

国立国会図書館請求記号
Z17-82
国立国会図書館書誌ID
9323506
資料種別
記事
著者
縄舟 秀美ほか
出版者
川崎 : 化学工業社
出版年
2008-01
資料形態
紙
掲載誌名
ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering 53(1) (通号 636) 2008.1
掲載ページ
p.1～7
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資料種別
記事
タイトル
次世代微細回路形成へのナノテクノロジーの展開
著者・編者
縄舟 秀美
赤松 謙祐
池田 慎吾
シリーズタイトル
特集 次世代技術開発の新展開
著者標目
縄舟 秀美
赤松 謙祐
池田 慎吾
タイトル（掲載誌）
ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering
巻号年月日等（掲載誌）
53(1) (通号 636) 2008.1
掲載巻
53
掲載号
1
掲載通号
636