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雑誌Semiconductor international 日本版
巻号5(1) 2008.1
記事High-k/メタル...

High-k/メタルゲートが量産へ一歩前進

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High-k/メタルゲートが量産へ一歩前進

国立国会図書館請求記号
Z74-E304
国立国会図書館書誌ID
9329904
資料種別
記事
著者
Reza Arghavniほか
出版者
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション
出版年
2008-01
資料形態
紙
掲載誌名
Semiconductor international. 日本版 5(1) 2008.1
掲載ページ
p.20～27
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紙

資料種別
記事
タイトル
High-k/メタルゲートが量産へ一歩前進
著者・編者
Reza Arghavni
Gary Miner
Melody Aguslin
著者標目
Reza Arghavni
Gary Miner
Melody Aguslin
並列タイトル等
High-k/metal gates prepare for high-volume manufacturing
タイトル（掲載誌）
Semiconductor international. 日本版
巻号年月日等（掲載誌）
5(1) 2008.1
掲載巻
5
掲載号
1
掲載ページ
20～27