新進気鋭 フラッシュランプ加熱による高品質シリコン薄膜多結晶の成長
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 大平 圭介
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Formation of high-quality poly-Si films by flash lamp annealing
- タイトル（掲載誌）
- まてりあ = Materia Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 47(2) 2008.2
- 掲載巻
- 47
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 89～92