Dopant ionization in silicon nanodevices investigated by Kelvin Probe Force Microscope

• 資料種別: 記事
• タイトル: Dopant ionization in silicon nanodevices investigated by Kelvin Probe Force Microscope
• 著者・編者: Maciej Ligowski; Ratno Nuryadi; Akihiro Ichiraku 他
• シリーズタイトル: 電子デバイス
• 著者標目: Maciej Ligowski; Ratno Nuryadi; Akihiro Ichiraku
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 107(473) 2008.1.30・31
• 掲載巻: 107
• 掲載号: 473
• 掲載ページ: 11～16
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2008-01
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: dopant ionization; freeze-out effect; KFM; Kelvin Probe Force Microscope
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: ED2007-239
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 9376436; http://id.ndl.go.jp/bib/9376436
• 整理区分コード: 632