超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータにおける微小振れに関する検討
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 北川 貴一平山 朋子松岡 敬 他
- 並列タイトル等
- Nano-fluctuation of pneumatic servo bearing actuator for ultraprecise positioning
- タイトル（掲載誌）
- 同志社大学理工学研究報告 = The science and engineering review of Doshisha University
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 48(4) 2008.1
- 掲載巻
- 48
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 234～240