外径70mmのコンフラットフランジにマウントした簡易型金属蒸着源の製作
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 飯島 千尋間瀬 一彦奥沢 誠
- 並列タイトル等
- Simple evaporator for metal evaporation mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 51(2) 2008.2
- 掲載巻
- 51
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 99～101