イオンビーム照射ポリフッ化ビニリデン薄膜のエッチング挙動--エッチング前処理・照射イオン効果の検討 (特集号 高分子表面・界面の新展開(2))
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 八巻 徹也Rosiah Rohani越川 博 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Etching behavior of Poly(vinylidene fluoride) thin films irradiated with ion beams: effect of irradiated ions and pretreatment
- タイトル（掲載誌）
- 高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 65(3) 2008
- 掲載巻
- 65
- 掲載号
- 3