軟X線多層膜鏡の形状誤差補正のための大面積イオン銃を用いたミリング装置の開発 (第48回真空に関する連合講演会プロシーディングス--2007年11月14日～16日,東京)

デジタルデータあり（Japan Link Center）

CiNii Research

軟X線多層膜鏡の形状誤差補正のための大面積イオン銃を用いたミリング装置の開発(第48回真空に関する連合講演会プロシーディングス--2007年11月14日～16日,東京)

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

CiNii Research
検索サービス
デジタル
連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

資料種別: 記事
タイトル: 軟X線多層膜鏡の形状誤差補正のための大面積イオン銃を用いたミリング装置の開発
著者・編者: 戸坂亜希
酒井優
津留俊英他
シリーズタイトル: 第48回真空に関する連合講演会プロシーディングス--2007年11月14日～16日,東京
著者標目: 戸坂亜希
酒井優
津留俊英
並列タイトル等: Development of an ion milling system for figure error correction of a soft X-ray multilayer mirror
タイトル（掲載誌）: Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
巻号年月日等（掲載誌）: 51(3) 2008.3
掲載巻: 51
掲載号: 3
掲載ページ: 115～117
掲載年月日（W3CDTF）: 2008-03
ISSN（掲載誌）: 1882-2398
ISSN-L（掲載誌）: 1882-2398
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本真空協会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN15
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-474
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 9471281
http://id.ndl.go.jp/bib/9471281
整理区分コード: 632