フォトリソグラフィとアノード酸化を利用したAl薄膜の表面加工
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 勝又 信行石田 正文斎藤 修
- 並列タイトル等
- Surface patterning of Al thin film using photolithography and anodization
- タイトル（掲載誌）
- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 59(5) 2008.5
- 掲載巻
- 59
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 333～339