光ファイバ伝送レーザ光を直接利用したシリコンのレーザアシストエッチング加工
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山下 祥宣細野 高史比田井 洋史 他
- 並列タイトル等
- Processing of silicon by direct irradiation of laser beam transmitted through optical fiber
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 74(5) (通号 881) 2008.5
- 掲載巻
- 74
- 掲載号
- 5
- 掲載通号
- 881