RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成へのドーナツ円板の効果 (電子部品・材料)

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RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成へのドーナツ円板の効果

(電子部品・材料)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
9527746
資料種別
記事
著者
細川 貴之ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2008-05
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 108(35) 2008.5.15・16
掲載ページ
p.1~5
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
細川 貴之
中村 功一
細江 俊介 他
シリーズタイトル
並列タイトル等
Effect of doughnut-type plate on crystal properties of LiMn2O4 films prepared by RF magnetron sputtering
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
108(35) 2008.5.15・16
掲載巻
108
掲載号
35