Low-temperature direct bonding of flip-chip mountable VCSELs with Au-Au surface activation (Special issue on "MEMS-based optical sensing devices and systems")

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CiNii Research

Low-temperature direct bonding of flip-chip mountable VCSELs with Au-Au surface activation(Special issue on "MEMS-based optical sensing devices and systems")

国立国会図書館請求記号: Z16-B380
国立国会図書館書誌ID: 9532710

資料種別: 記事

著者: Teppei Imamuraほか

出版者: 東京 : 電気学会

出版年: 2008-06

資料形態: 紙

掲載誌名: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 128(6) 2008.6

掲載ページ: p.266～270

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紙デジタル

資料種別: 記事
タイトル: Low-temperature direct bonding of flip-chip mountable VCSELs with Au-Au surface activation
著者・編者: Teppei Imamura
Eiji Higurashi
Tadatomo Suga 他
シリーズタイトル: Special issue on "MEMS-based optical sensing devices and systems"
著者標目: Teppei Imamura
Eiji Higurashi
Tadatomo Suga
タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
巻号年月日等（掲載誌）: 128(6) 2008.6
掲載巻: 128
掲載号: 6
掲載ページ: 266～270
掲載年月日（W3CDTF）: 2008-06
ISSN（掲載誌）: 1341-8939
ISSN-L（掲載誌）: 1341-8939
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
件名標目: flip-chip bonding
VCSEL
surface-activated bonding
low-temperature bonding
hybrid integration
NDLC: ZN31
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-B380
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 9532710
http://id.ndl.go.jp/bib/9532710
整理区分コード: 632

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