多重磁極型高周波マグネトロンスパッタ法によるCo薄膜の基板温度依存性
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 桑原 豪後藤 貴則佐々重 光祐 他
- 並列タイトル等
- Dependence on substrate temperature of the properties of Co thin films fabricated by RF magnetron sputtering with multipolar magnetic plasma confinement
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 51(6) 2008.6
- 掲載巻
- 51
- 掲載号
- 6
- 掲載ページ
- 405～407