多重磁極型高周波マグ...

多重磁極型高周波マグネトロンスパッタ法によるCo薄膜の基板温度依存性

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多重磁極型高周波マグネトロンスパッタ法によるCo薄膜の基板温度依存性

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
9571246
資料種別
記事
著者
桑原 豪ほか
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
2008-06
資料形態
掲載誌名
Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空 51(6) 2008.6
掲載ページ
p.405~407
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
桑原 豪
後藤 貴則
佐々重 光祐 他
並列タイトル等
Dependence on substrate temperature of the properties of Co thin films fabricated by RF magnetron sputtering with multipolar magnetic plasma confinement
タイトル(掲載誌)
Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
巻号年月日等(掲載誌)
51(6) 2008.6
掲載巻
51
掲載号
6
掲載ページ
405~407