原子間力顕微鏡法を用いたLSI用Cu配線の腐食挙動解析
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 本棒 享子馬渕 勝美山田 真治
- 並列タイトル等
- In-situ analysis of corrosion behavior of copper wiring system in LSI by atomic force microscopy
- タイトル（掲載誌）
- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 59(7) 2008.7
- 掲載巻
- 59
- 掲載号
- 7
- 掲載ページ
- 470～476