FIBによるマイクロ金型・部品のナノ加工(ナノ・マイクロ塑性加工技術特集号)

掲載誌名: 塑性と加工 = Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity : 日本塑性加工学会論文誌 49(570) 2008.7

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資料種別: 記事
タイトル: FIBによるマイクロ金型・部品のナノ加工
著者・編者: 村川正夫
野口裕之
シリーズタイトル: ナノ・マイクロ塑性加工技術特集号
著者標目: 村川正夫
野口裕之
並列タイトル等: Nano-processing of micro molds and parts by FIB
タイトル（掲載誌）: 塑性と加工 = Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity : 日本塑性加工学会論文誌
巻号年月日等（掲載誌）: 49(570) 2008.7
掲載巻: 49
掲載号: 570
掲載ページ: 629～633
掲載年月日（W3CDTF）: 2008-07
ISSN（掲載誌）: 0038-1586
ISSN-L（掲載誌）: 0038-1586
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本塑性加工学会 ; 1960-
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZP41
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z17-218
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 9602002
http://id.ndl.go.jp/bib/9602002
整理区分コード: 632

DOI: 10.9773/sosei.49.629
https://doi.org/10.9773/sosei.49.629
関連情報（URI）: http://id.ndl.go.jp/bib/9602002
https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9602002
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sosei/49/570/49_629/_pdf
参照: ナノ・マイクロ加工
https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206498074880
金型
https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282681476235136
参照: A high-intensity scanning ion probe with submicrometer spot size
https://cir.nii.ac.jp/crid/1361137045587416320
Microgrooving and microthreading tools for fabricating curvilinear features
https://cir.nii.ac.jp/crid/1361418520375227520
Growth mechanism of flattened diamond crystals synthesized by chemical vapor deposition
https://cir.nii.ac.jp/crid/1362544420502057984
Micromilling of metal alloys with focused ion beam–fabricated tools
https://cir.nii.ac.jp/crid/1363670319943841280
Three-dimensional nanostructure fabrication by focused-ion-beam chemical vapor deposition
https://cir.nii.ac.jp/crid/1364233269861808256
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
https://cir.nii.ac.jp/
提供元機関・データベース: Japan Link Center
https://japanlinkcenter.org/top
雑誌記事索引データベース
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Crossref
https://www.crossref.org
CiNii Articles
Crossref
https://www.crossref.org
Crossref
https://www.crossref.org
書誌ID（NDLBibID）: 9602002
http://id.ndl.go.jp/bib/9602002
NII論文ID: 10020985573